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ESD手册

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ESD 测试清单 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17

1.1 电批接地电阻测试方法 仪器名称1:万用表 被测对象:电批

接地理论值:小于20欧姆

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10%。测试频率:每天点检 测试部门:设备维护

测试方法:将欧姆表的一端与设备接地相连,另一端与被测对象相连,按下欧姆表测试按钮待数字稳定后读数。

处理方法:当检测不合格后,维护人员需检查接地线接地情况,如接地线也没有问题,需维修电批。

名称 电批 烙铁 静电鞋 静电服 静电手腕带 静电脚跟带 托盘 包装材料 夹治具 工作台表面 流水线 周转车 防静电椅 手套和指套 生产设备 其它需要静电测试 主接地 测试项目 对地阻值 对地阻值 对地阻值 表面阻值/摩擦电压衰减时间 对地阻值 对地阻值 表面阻值/对地阻值 表面阻值/摩擦电压 表面阻值/对地阻值 表面阻值/对地阻值 表面阻值/对地阻值 对地阻值 对地阻值 摩擦电压衰减时间 对地阻值/静电电量/静电电压 N/A 对地阻值

1.2 烙铁接地电阻测试方法 仪器名称1:万用表 被测对象:烙铁

接地理论值:150k欧±10%

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10%。 测试频率:每天点检 测试部门:设备维护

测试方法:将欧姆表的一端与设备接地相连,另一端与烙铁头相连,按下欧姆表测试按钮待数字稳定后读数。

处理方法:当检测不合格后,维护人员需检查接地线接地情况,如接地线也没有问题,更换新烙铁头,如果检测还是NG,则需维修电批。

1.3 静电鞋接地电阻测试方法 仪器名称1:人体静电测试仪 被测对象:静电鞋 接地理论值:小于109欧姆

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10%。 测试频率:每天点检 测试部门:生产

测试方法:在仪器非充电状态下,一只脚站在测试仪的测试台上,将测试项目按钮调至“Footwear”档,按下测试按钮,当测试指示灯显示绿色或发出“OK”提示,则说明静电鞋测试合格,当测试指示灯显示红色时则证明静电鞋测试不合格,然后换另一制脚,用上述同样的方法测试其合格性,

处理方法:如果不能通过测试,则按照如下处理:(1)清洁鞋底,(2)清洁鞋垫,(3)如果处理后还不能通过,则要报告拉长或主管,申请更换.

1.4 静电手腕带电阻测试方法 仪器名称1:人体静电测试仪 被测对象:静电手腕带

接地理论值:小于1.0X10欧姆

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10%。 测试频率:每天点检 测试部门:生产

测试方法:将测试项目按钮调至“Wrist Strap”档,把静电环插入腕带测试插孔中,按下测试按钮,当测试指示灯显示绿色或发出“OK”提示,则说明静电手环测试合格,当测试指示灯显示红色时则证明静电手环测试不合格。如果不能通过测试,则要报告拉长或主管,申请更换.

处理方法:当检测不合格后,则要报告拉长或主管,申请更换。

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1.5 静电服电阻测试方法 仪器名称1:表面电阻测试仪 仪器名称2:红外线静电测试仪 被测对象:静电服 接地理论值:10~10欧 摩擦电压理论值:<100V

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10%。

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测试频率:来料抽测,以后半年/次 测试部门:设备管理ESD防护小组

测试方法:1、把表面电阻测试仪按在托盘表面,且保证表面电阻测试仪的两极和托盘表面接触良好,按下TEST键,待数字稳定后读数并记录;2、用无尘布对静电服以每秒120次的速度单向摩擦,且施以4-5KG力,摩擦20次以上后用红外线静电测试仪检测,待数据稳定后读数并记录。

处理方法:当抽测不合格率大于2%,需要批退;已使用半年后的防静电服检测不合格后需更

换新防静电服。

1.7 托盘表面电阻和表面电压测试方法 仪器名称1:表面电阻测试仪 仪器名称2:红外线静电测试仪 被测对象:托盘

表面电阻理论值:10测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10%。 测试频率:来料抽测,以后半年/次 测试部门:设备管理ESD防护小组

测试方法:1、把表面电阻测试仪按在托盘表面,且保证表面电阻测试仪的两极和托盘表面接触良好,按下TEST键,待数字稳定后读数并记录; 2、用无尘布对托盘以每秒120次的速度单向摩擦,且施以4-5KG力,摩擦20次以上后用红外线静电测试仪检测,待数据稳定后读数并记录。

处理方法:当抽测不合格率大于2%,需要批退;使用半年检测不合格则需更换合格托盘。

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1.8包装材料测试方法 仪器名称1:表面电阻测试仪 仪器名称2:红外线静电测试仪 被测对象:包装材料 表面电阻理论值:10~10欧

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摩擦电压理论值:<100V

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10% 测试频率:来料抽测

测试部门:设备管理ESD防护小组

测试方法:1、将包装材料平铺,把表面电阻测试仪按在被测材料上,长按仪器的TEST键,待显示稳定后读数;按同样方法测试多个点后记录显示测试最高数值;2、用无尘布对包装材料以每秒120次的速度单向摩擦,且施以4-5KG力,摩擦20次以上后用红外线静电测试仪检测,待数据稳定后读数并记录。

处理方法:当抽测不合格率大于2%,需要批退。

1.9夹治具测试方法

仪器名称1:表面电阻测试仪 仪器名称2:红外线静电测试仪 被测对象:夹治具

表面电阻理论值:10~10欧 对地电阻理论值:10~10欧 摩擦电压理论值:<100 V

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10% 测试频率:来料检测,以后每月测试一次 测试部门:设备管理ESD防护小组 测试方法:

1、 表面电阻:把表面电阻测试仪按在被测治具上,长按表面电阻测试仪的TEST键,待显示

稳定后读数;按同样方法测试多个点后记录显示测试最高数值。

2、 对地电阻:将夹治具放在接地良好的钢板上,把一个圆柱型电极放在被测试面表面上,

另一个电极放在钢板上,长按重锤式电阻测试仪上的TEST按钮待数字稳定后读数。挪动两圆柱型金属电极3—5次,记下测量的最大数值;

3、用无尘布对夹治具以每秒120次的速度单向摩擦,且施以4-5KG力,摩擦20次以上后用红外线静电测试仪检测,待数据稳定后读数并记录。

处理方法:来料检测到有不合格情况,同型号批退;每月检测时发现不合格情况则要对表面进行清洁后再测,如再次检测不合格则马上停止使用该治具。

1.10工作台台面测试方法 仪器名称1:表面电阻测试仪 仪器名称2:万用表 被测对象:包装材料 表面电阻理论值:10~10欧 对地电阻理论值:10~10欧

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10% 测试频率:来料抽测,以后每月测试一次 测试部门:设备管理ESD防护小组 测试方法:

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1、 表面电阻:把表面电阻测试仪按在工作台台面上,长按表面电阻测试仪的TEST键,待显

示稳定后读数;按同样方法测试多个点后记录显示测试最高数值。

2、对地电阻:把一个圆柱型电极放在工作台台面上,另一个电极与接地线连接,长按重锤式电阻测试仪上的TEST按钮待数字稳定后读数。挪动台面上的圆柱型金属电极3—5次,记下测量的最大数值。

处理方法:当检测不合格率,需做退货处理

1.12流水线测试方法 仪器名称1:表面电阻测试仪 仪器名称2:用万用表 被测对象:流水线

表面电阻理论值:10~10欧 对地电阻理论值:10~10欧

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10% 测试频率:来料抽测,以后每月测试一次 测试部门:设备管理ESD防护小组 测试方法:

1、 表面电阻:把表面电阻测试仪按在流水线表面上,长按表面电阻测试仪的TEST键,待显

示稳定后读数;按同样方法测试多个点后记录显示测试最大数值。

2、 对地电阻:用万用表正极连接被测设备,负极与接地线端点连接,待仪器上的读数稳定

后读数并记录;

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处理方法:当来货检测不合格,需做退货处理,使用时检测不合格需用无尘布做表面清洁再检测,如再次检测不合格需立即停止使用,更换检测OK的流水线。

1.13周转车/物料架测试方法 仪器名称1:表面电阻测试仪 仪器名称2:红外线静电测试仪 被测对象:周转车/物料架 对地电阻理论值:10~10欧 摩擦电压理论值:<100V

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10% 测试频率:来料抽测,以后每月测试一次 测试部门:设备管理ESD防护小组 测试方法:

1、把表面电阻测试仪按在周转车表面上,长按表面电阻测试仪的TEST键,待显示稳定后读数;按同样方法测试多个点后记录显示测试最大数值。2、用无尘布对托盘以每秒120次的速度单向摩擦,且施以4-5KG力,摩擦20次以上后用红外线静电测试仪检测,待数据稳定后读数并记录。

处理方法:当来货检测不合格,需做退货处理,使用时检测不合格应检查接地是否良好再检测,如再次检测不合格需立即停止使用,更换检测OK的流水线。

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1.14防静电椅测试方法 仪器名称1:表面电阻测试仪 仪器名称2:红外线静电测试仪 被测对象:防静电椅 对地电阻理论值:<10欧

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10% 测试频率:来料抽测,以后每月测试一次 测试部门:设备管理ESD防护小组 测试方法:

1、把表面电阻测试仪按在椅子坐垫、靠背的表面上,长按表面电阻测试仪的TEST键,待显示稳定后读数;按同样方法测试多个点后记录显示测试最大数值。2、用无尘布对托盘以每秒120次的速度单向摩擦,且施以4-5KG力,摩擦20次以上后用红外线静电测试仪检测,待数据稳定后读数并记录。

处理方法:当来货检测不合格,需做退货处理,使用时检测不合格需用无尘布做表面清洁再检测,如再次检测不合格需立即停止使用,更换检测OK的防静电椅。

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1.15防静电手套和防静电手指套 仪器名称1:表面电阻测试仪 仪器名称2:综合离子分析仪

被测对象:防静电手套和防静电手指套

防静电椅坐垫接地阻值测试 防静电椅靠背接地阻值测试

表面电阻理论值:10~10欧

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衰减时间:<2秒

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10% 测试频率:来料抽测

测试部门:设备管理ESD防护小组 测试方法:

1、 表面电阻:戴上防静电手套(手指套),把表面电阻测试仪的两极按在防静电手套(手

指套)上,长按测试仪器的TEST键,待数字稳定后读数并记录;

2、 衰减时间:打开综合离子分析仪电源开关,调试ZERO键,使仪器归零,戴上防静电手套

(手指套),把戴上防静电手套(手指套)的部位按在综合离子分析仪的感应面上,把仪器带电电压调到1000V,按下DECAY键,待数字不跳动时读数并记录。 处理方法:当来货检测不合格,需做批退处理。

1.16生产设备测试方法 仪器名称1:兆欧表 仪器名称2:库伦表

仪器名称3:红外线静电电压测试仪 被测对象:生产设备 接地电阻理论值:〈1欧 带电电量理论值:Q < 10-9 库伦

带静电电压理论值:〈100V

测试环境: 温度为23±3℃,湿度为50±10% 测试频率:来料抽测、每月一次 测试部门:设备管理ESD防护小组 测试方法:

1、 接地电阻:用兆欧表正极连接被测设备,负极与接地线端点连接,待仪器上的读数稳定

后读数并记录;

2、 带电电量:先把库伦表的接地端接地,再用库伦表的表针与被测设备的测试点接触,待

仪器上的读数稳定后读数并记录

3、 带静电电压:打开红外线静电电压测试仪的开关,在被测设备上把红外线静电测试仪射

出的两条红外线的点合并一点,读数并记录。

处理方法:使用时检测不合格需用无尘布做表面清洁再检测,如再次检测不合格需立即停止使用,设备维护立即维修。

1.17 主接地接地电阻测试方法 仪器名称1:接地电阻测试仪 被测对象:电批 接地理论值:小于1欧姆

测试频率:半年一次 测试部门:设备管理和厂务

测试方法:将主接地线接在接地电阻测试仪的E钮,在距离主接地铜芯约20米处打入大地约1米的钢锥,然后再沿直线20米处打下另一个钢锥,两钢锥上分别接上电线,并分别把电线的另一端接在接地电阻测试仪的P扭和C扭上,已每分钟约200转的速度摇动把手,并读数。 处理方法:当检测不合格后,需立即向铜芯所在区域加适当浓度盐水。

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